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Nikon

  • 혁신적인 측정 솔루션

  • 세계 정상급 품질

  • 뛰어난 정밀도 실현

Nexiv

NEXIV VMZ-S

다양한 샘플을 다루는 범용 모델

상세사양
전용 광학계와 TTL 레이저 AF를 표준 탑재.
샘플 사이즈에 따라 스트로크가 다른 3 모델을 라인 업하고 있습니다.
다양한 측정 요구에 대해 고속·고정밀한 측정을 실현합니다.
μm대의 공차 관리를 고속/고정밀도/사용하기 쉽게 할 수 있습니다.

특징&기능

  • 6 종류의 고 NA 광학 줌 헤드
  • 고정밀도,고속측정이 가능한TTL (Through The Lens) 레이저 AF
  • 3종류의 입사각에 대응한 8분할LED링조명
  • 검색기능

iNEXIV VMA 시리즈

광시야에 의한 다양한 측정 용도

상세사양
광시야 측정이 가능한 3개의 스테이지 사이즈를 라인업.
프로브의 장착도 가능하며, 다양한 검사나 품질 관리에 위력을 발휘합니다.
넓은 시야와 긴 작동 거리에서 높이와 단차가 있는 샘플 측정에 적합한 엔트리 모델입니다.

특징&기능

  • 넓은 시야와 선명한 이미지
  • 견고한 73.5mm 작업 거리
  • 대형 XY 스트로크 및 긴 Z 스트로크
  • 높은 반복성을 가진 자동 초점
  • 레이저 AF (옵션)
  • 다양한 조명
  • 지능형 검색
  • 디지털 차트 대조
  • 확장 1.5x 고배율

NEXIV VMZ-K

2차원 측정과 높이 측정이 가능한 1대 2역의 고기능 시스템

상세사양
명시야 화상에 의한 2차원 측정에 가세해, 컨포컬 광학계에 의한 시야내 일괄 높이 측정을 실현. 
명시야 측정에서는 검출이 어려운 샘플도 컨포컬 광학계라면 고속/고정밀도의 측정이 가능합니다.

특징&기능

  • Nikon 독점 컨포컬 기술(공초점 기술) 로 동시 광역 높이 측정
  • 15배 브라이트 필드(명시야) 줌 광학을 이용한 2D 측정
  • 반도체 제조에서 300mm 웨이퍼 측정과 완벽 호환
  • 컨포컬 NEXIV 는 웨이퍼 레벨 CSP와 같은 고급 IC 패키지에 있는 다양한 범프 높이 측정 뿐만 아니라 MEMS 와 프로브 카드의 매우 복잡한 구조의 검사에도 최적으로 사용할 수 있습니다.

NEXIV VMZ-H3030

정밀한 스테이지 동작과 고성능 광학계에 의해 NEXIV 시리즈 최고 정밀도로의 측정을 실현합니다.

상세사양
엄격한 품질이 요구되는 측정 용도에 대응
NEXIV 시리즈 최고의 측정 정밀도를 실현. 
반도체 부품이나 정밀 금형 등 보다 엄격한 품질 관리가 요구되는 장면에서 위력을 발휘합니다.

특징&기능

  • 5종류의 고 NA 광학 줌 헤드
  • 고정밀도,고속측정이 가능한TTL (Through The Lens) 레이저 AF
  • 3종류의 입사각에 대응한 8분할 LED 링조명
  • 검색기능
상세사양 NEXIV VMZ-S
모델 VMZ-S3020 VMZ-S4540 VMZ-S6555
XYZ 스트로크 300u00d7200u00d7200mm *저배율 렌즈가 있는 TZ형: 250u00d7200u00d7200mm 450x400x200mm *저배율 렌즈가 있는 TZ형: 400x400x200mm 650x550x200mm *저배율 렌즈가 있는 TZ형: 600x550x200mm
최소 판독값 0.01u03bcm
최대 샘플 무게 20kg(정확도 보증: 5kg) 40kg(정확도 보증: 20kg) 50kg (정확도 보증: 30kg)
최대 허용 오차
(L: 길이(mm))

EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 u00b5m

EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 u00b5m

EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 u00b5m

프로빙 오류 ①, ② : MPE PF2D 0.8 u00b5m

이미징 프로브의 프로빙 오류 ①, ② : MPE PFV2D 0.3 u00b5m
카메라 흑백 / 컬러 1/3 CMOS 카메라
작동 거리

Type 1, 2, 3: 50mm

Type 4: 30mm

TZ형: (고배율) 11mm / (저배율) 32mm

A형: 73.5mm(63mm 레이저 AF 사용 시)
레이저 AF 반복성 범위 ①, ③ 2u03c3 u2266 0.5 u00b5m
조명

Type 1, 2, 3, 4 : Episcopic, diascopic, 8-segment ring with 3 angle *모든 흰색 LED/Type 4는 1개의 angle만 있음

Type TZ: 좌측 대물렌즈: Episcopic, darkufb01eld; 오른쪽 대물렌즈: Episcopic, diascopic, darkufb01eld

Type A: Episcopic, diascopic, 8-segment ring with 1 angle *전체 백색 LED
전원, 소비전력 AC100V-240V, 50/60Hz / 4A u2212 2A
크기 및 무게 테이블 포함 본체(Wu00d7Du00d7H): 700u00d7730u00d71793mm 265kg 컨트롤러: 190u00d7450u00d7450mm / 약. 12kg 테이블 포함 본체(Wu00d7Du00d7H): 1000u00d71340u00d71818mm 510kg 컨트롤러: 190u00d7450u00d7450mm / 약. 12kg 테이블 포함 본체(Wu00d7Du00d7H): 1200u00d71640u00d71818 mm / 약. 740kg 컨트롤러: 190u00d7450u00d7450mm / 약. 12kg
풋프린트(Wu00d7D) 2700u00d72400mm 3000u00d73000mm 3200u00d73300mm
상세사양 iNEXIV VMA
모델 VMA-2520 VMA-4540 VMA-6555
XYZ 스트로크 250x200x200mm 450x400x200mm 650x550x200mm
TP(터치 프로브)를 사용한 측정 범위

200 x 200 x 166mm(TP20)

200 x 200 x 170mm(TP200)

250 x 200 x 200mm(Vision AF 포함)

400 x 400 x 166mm(TP20)

400 x 400 x 170mm(TP200)

450 x 400 x 200mm(Vision AF 포함)

600 x 550 x 166mm(TP20)

600 x 550 x 170mm(TP200)

650 x 550 x 200mm(Vision AF 포함)
TP 및 MCR20의 측정 범위 *1

175 x 200 x 166mm(TP20)

175 x 200 x 170mm(TP200)

225 x 200 x 200mm(Vision AF 포함)

325 x 400 x 166mm(TP20)

325 x 400 x 170mm(TP200)

375 x 400 x 200mm(Vision AF 포함)

525 x 550 x 166mm(TP20)

525 x 550 x 170mm(TP200)

575 x 550 x 200mm(Vision AF 포함)
최소 판독값 0.1 u00b5m
최대 샘플 중량(정확도 보장) 15kg(5kg) 40kg(20kg) 50kg(30kg)
최대 허용 오차
(L: 길이(mm))

EUX,MPE EUY,MPE: 2+8L/1000 u00b5m

EUXY,MPE: 3+8L/1000u03bcm

EUZ,MPE: 3+L/50u03bcm *3

EUX,MPE EUY,MPE: 2+6L/1000 u00b5m

EUXY,MPE: 3+6L/1000u03bcm

EUZ,MPE: 3+L/100u03bcm *3
카메라 흑백 1/3" CCD, 컬러 1/3"(옵션)
작동 거리 73.5mm(레이저 AF 사용 시 63mm)
확대

광학: 0.35~3.5x(0.52x~5.2x 고배율은 옵션으로 사용 가능)

화면: 12.6~126x(24인치 WUXGA(1920 x 1200픽셀) 모니터 사용 시)
스테이지의 FOV 크기 13.3 x 10mm ~ 1.33 x 1mm(8.9 x 6.7mm ~ 0.89 x 0.67mm, 고배율 옵션 포함)
자동 초점 비전 AF, 레이저 AF(옵션)
조명

윤곽 조명 및 표면 조명: 백색 LED 투시 조명

경사 조명: 8 세그먼트 백색 LED 링
비디오 해상도 640 x 480픽셀
터치 프로브(옵션) Renishawu00ae TP200/TP20
전원 100V - 240V, 50/60Hz
최대 허용 오차
(L: 길이(mm))		 5A(100V) -2.5A(240V)
(호스트 컴퓨터 및 주변 장치의 소비 전력 제외)		 5A(100V) -2.5A(240V)
본체(W x D x H) 650 x 700 x 1557mm 110kg 1000 x 1340 x 1553mm 500kg 1200 x 1640 x 1553mm 665kg
제어 장치 145 x 400 x 390mm 14kg 145 x 400 x 390mm 14kg 145 x 400 x 390mm 14kg
운영 환경

온도: 10 ~ 35u00baC

습도: 70% 이하
정확도 보증 온도

온도: 10 ~ 35u00baC

습도: 70% 이하
* 1: iNEXIV 전용 MCR20은 TP20과 TP200 모두에 사용할 수 있습니다.
* 2: 20°C ±0.5k에서 Nikon 자체 테스트
* 3: TP 또는 레이저 AF 사용 시
상세사양 NEXIV VMZ-K
대물렌즈
표준헤드 고배율헤드
확대 1.5배 3배 7.5배 15배 30배
WD 24mm 24mm 5mm 20mm 5mm
공초점 광학(면적 높이 측정)
표준헤드 고배율헤드
시야 8x6mm 4x3mm 1.6x1.2mm 0.8x0.6mm 0.4x0.3mm
높이 측정 반복성(2u03c3) 0.6u00b5m 0.35u00b5m 0.25u00b5m 0.20u00b5m
높이 측정 해상도 0.01u00b5m
명시야 광학(2D 측정)
표준헤드 고배율헤드
확대/축소 방법 전동 5단계 줌
시야 8 x 6mm ~ 0.53 x 0.4mm 4 x 3mm ~ 0.27 x 0.2mm 1.6 x 1.2mm ~ 0.11 x 0.08mm 1.26 x 0.95mm ~ 0.1 x 0.074mm 0.63 x 0.47mm ~ 0.05 x 0.04mm
조명 모든 유형의 흰색 LED 투광 및 비광 조명기, 유형 1.5x, 3x 및 7.5x용 백색 LED 링 라이트
광원 백색 LED
자동 초점 비전 AF 및 TTL 레이저 AF(스캔 모드 사용 가능)
본체
VMZ-K3040 VMZ-K6555
스트로크(X, Y, Z) 300×400×150mm
보장된 적재 능력 20kg 30kg
최대 허용 오차 EUX, MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000u00b5m
EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000u00b5m
EUZ, MPE 1 + L/1000u00b5m
전원 / 소비전력 AC 100~240V u00b1 10% 50/60Hz / 13A~6.5A
발자국 2500 x 1600mm 2500 x 1900mm
상세사양 VMZ-H3030
XYZ 스트로크 300x300x150mm
최소 판독값 0.01㎛
최대 샘플 무게 30kg(정확도 보증: 10kg)
최대 허용 오차
(샘플이 20kg 미만인 경우)

EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000μm

EUXY,MPE: 0.9+3L /1000μm

EUZ,MPE: 0.9+L /150μm
정확도 보장 온도 20°C ± 0.5K
최대 주행 속도 XY, Z 100mm/s, 50mm/s
최저 주행 속도 XY, Z 0.01mm/s, 0.001mm/s
카메라 VGA 1/3" 흑백, 컬러 *컬러 카메라 옵션은 유형 1, 2 및 3에서만 사용할 수 있습니다.
작동 거리 Type 1, 2, 3: 50 mm (75도 LED 조명 사용 시 10 mm) /
Type 4: 30 mm
Type TZ: 31 mm (저배율), 11 mm (고배율)
자동 초점 비전 AF, 레이저 AF
전원 AC 100 - 240V ± 10% 50/60Hz
전력 소비 5A - 2.5A
치수(WxDxH) 및 무게

테이블 포함 본체: 1000 x 1125 x 1750mm 500kg

컨트롤러: 190 x 450 x 440mm / 약. 15kg"
풋프린트(Wu00d7D) 3000x2800mm
조명
유형 1, 2, 3, 4 에피스코픽, 디아스코픽, 3각도 8세그먼트 링 *올 화이트 LED/Type 4는 1각만 있음
타입 TZ Episcopic, diascopic, darkfield
전원 AC 100 - 240V u00b1 10% 50/60Hz
전력 소비 5A - 2.5A