주요기능

  2㎛ 요소 인식 기능을 갖춘 독점적인 20-130kV 마이크로 포커스 소스

  406x406mm 의 측정 영역

  75도 조정 장치 기울임 각도로 내부 기능 검사 용이

  검사 영역에 쉬운 접근 가능

  공간 차지가 적고, 가벼운 무게로 설치 용이

  open-tube 기술을 이용해 저렴한 유지보수비용

  CT 옵션 사용가능


사양


XT V 130C
Max Kv
130kv
Max. electron beam power
10W
Focal spot size
3um
Feature recognition
2um
Imaging system (Standard)
1.45Mpixel 12bit camera with 6" image i ntensifier
Imaging system (Option)
1.45Mpixel 12bit camera with dual field 4"/6" image intensifier (XT V 130C) Varian 1313 or 2520 digital flat panel (14bit)
Manipulator
4-axis (X, Y, Z, T)
Rotate axis
Optional
Tilt
0 - 75 degrees
Measuring volume
Largest spuare in single map 406x406mm (16x16")
Absolute max 711x762mm (28x30)
Max. sample weight
5kkg (11lbs)
Monitors
Dual 22 flat screen 1920x1080 pixels (standard)
Single 30 flat screen 2560x1600 pixels (optional)
Cabinet dimensions (W x D x H)
1,200 x 1,786 x 1,916 (48.0 x 71.3 x 75.4")
Weight
1,935kg (4,266 lbs)
Radiation safety
<1uSv/hr at the cabinet surface
Control
Inspect-X control and analysis software
Automated inspection
Optional
Computed Tomography
Optional
Primary applications
Real-time electronics inspection

주요기능

  서브 마이크론 초점 스팟 크기의 독점적인 160kV 소스

  BGA 의 최적 검사를 위한 진정한 75도 기울임 각도

  빠른 데이터 캡쳐 및 고품질 이미지

  다수의 보드를 수용 가능 대형 트레이

  사용자 맞춤형 매크로 측정 작업 자동화

  원격 유효성 검사 사용 가능

  적은 공간차지

  open-tube 기술을 이용한 저렴한 유지보수비용


사양


XT V 160
Max Kv
160kv
Max. electron beam power
20W
X-ray source
Open tube transmission target
Focal spot size
1um
Feature recognition
500nm
Geometric magnification
2.5x-2,400x
System macnification
Up to 36,000x
Imaging system (Standard)
1.45Mpixel 12bit camera with dual field 4"/6" image intensifier
Imaging system (Option)
1.45Mpixel 12bit camera with dual field 4"/6" image intensifier (XT V 130C) Varian 1313 or 2520 digital flat panel (14bit)
Manipulator
5-axis (X, Y, Z, T, R)
Rotate axis
Included
Tilt
0 - 75 degrees
Measuring volume
Largest spuare in single map 406x406mm (16x16")
Absolute max 711x762mm (28x30)
Max. sample weight
5kkg (11lbs)
Monitors
Dual 22 flat screen 1920x1080 pixels (standard)
Single 30 flat screen 2560x1600 pixels (optional)
Cabinet dimensions (W x D x H)
1,200 x 1,786 x 1,916 (48.0 x 71.3 x 75.4")
Weight
1,935kg (4,266 lbs)
Radiation safety
<1uSv/hr at the cabinet surface
Control
Inspect-X control and analysis software
Automated inspection
Included
Computed Tomography
Optional
Primary applications
Real-time and automated electronics and semiconductor inspection

내용

XT H 225 ST 는 다양한 범위의 재질과 샘플 사이즈에 이상적으로 적합한 CT 시스템 입니다. 특히 같은 범위의 다른 시스템에 있어 너무 크거나 무거운 것들 말입니다. 이 시스템에는 세 가지 상호 교환 가능한 소스가 잇습니다. 225kv 반사 타겟, 180kv 전송 타겟 그리고 선택적 225kv 회전 타겟. 선택가능한 다양한 범위의 납작한 패널 감지와 결합되어 ST 시스템은 품질 실험실, 생산 시설 및 연구 부서를 위한 유연한 도구를 제공합니다.


주요기능

  3㎛ 초점 스폿 크기의 독점 225kv 마이크로 초점 X-ray 소스

  쉬운 시스템 작동

  최대 통찰력을 제공하는 이미지

  고성능 이미지 수집 및 부피 처리

  간단한 검사 자동화

  안전 설계

  저가 구매비용


어플리케이션

   오류 감지 및 실패 분석

  복잡한 메커니즘의 조립 검사

  내부 부품의 치수 측정

  부품 CAD 대조

  고급 재질 연구

  생물학적 구조 분석

  모델 디지털 아카이브


사양

Microfocus source
Max. kV
Max. power
Focal spot size
Focal spot size
at max power

180 kV Transmission target ○
180 kV
20 W
1 µm up to 3 W
20 µm at 20 W
225 kV Reflection target ●
225 kV
225 W
3 µm up to 7 W
225 µm at 225 W
225 kV Rotating target option ○
225 kV
450 W
10 µm up to 30 W
160 µm at 450 W
Detectors
# Bits
Active pixels
Pixel Size
Max. frame rate
at 1x1 binning

Max. frame rate
at 2x2 binning

Varex 4343 ○
16-bit
2880 x 2880
150 µm
15 fps
30 fps
Perkin Elmer 1611 ○
16-bit
4000 x 4000
100 µm
3.75 fps
7.5 fps
Perkin Elmer 1620 ○
16-bit
2000 x 2000
200 µm
3.75 fps
7.5 fps
Perking Elmer 1621
16-bit
2000 x 2000
200 µm
15 fps
30 fps
EHS ○





 : Basic configuration
○ 
: Alternative configuration

Manipulator
# Axes
5

Axes travel

(Typical values - Exact values depend on system configuration)
(X) 450 mm
(Y) 350 mm
(Z) 725 mm
(Tilt) +/- 30
(Rotate) n*360°
Max. sample weight
50 kg
General
Cabinet dimensions (LxWxH)
2,414 mm x 1,275 mm x 2,202 mm
Weight
4,200 kg
Safety
All systems are manufactured to IRR99
Control software 
All systems are controlled by Nikon Metrology’s in-house Inspect-X software

KM TRADING CO., LTD.

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